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苏大维格牵头光刻机关键技术国家重大仪器专项通过验收

放大字体  缩小字体 发布日期:2019-07-26  来源:a片仪器仪表行业协会  浏览次数:52
核心提示:7月23日,苏大维格科技集团股份有限啪啪免费观看大全av(以下简称苏大维格)发布公告,啪啪免费观看大全av于近日收到由国家科学技术部下发的验收文件【国科资函
       723日,苏大维格科技集团股份有限啪啪免费观看大全av(以下简称“苏大维格” 3658 )发布公告,啪啪免费观看大全av于近日收到由国家科学技术部下发的验收文件【国科资函[2019]14号】,啪啪免费观看大全av牵头的国家重大科学仪器设备开发专项“纳米图形化直写与成像检测仪器的研发与应用”项目通过综合验收。

项目研发的纳米图形化直写与成像检测仪器,解决了微纳结构光场的可调控技术、图形的高速率写入机制、微纳结构与纳米精度多轴光机系统的设计与可靠性等难题;实现了从纳米光子晶体结构到微米级任意结构的高效率光刻。项目的验收通过,在研发创新与技术进步、推动国产科学仪器进口替代、支撑重大需求与重点工程等方面取得了较好的成就。

项目由苏大维格联合上海理工大学、a片科学院上海光学精密机械研究所、a片科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、南开大学等6家单位共同完成。该项目总体目标包括攻克纳米干涉细分、纳秒时序下空间调制同步与纳米精度控制、3D导航Z-校正和海量数据处理的关键技术,开发紫外空间光调制、共焦成像检测关键部件和大数据量图形软件,研制出具有自主知识产权的纳米图形化直写与成像检测仪器等。项目主要解决了微纳结构光场的可调控技术、图形的高速率写入机制、微纳结构与纳米精度多轴光机系统的设计与可靠性等难题;面向无掩模光刻,研制了紫外激光直写光刻的关键技术、软件和装备;实现了从纳米光子晶体结构到微米级任意结构的高效率光刻,与目前其他激光直写技术相比,速度更快、效率更高。

苏大维格

啪啪免费观看大全av成立于2001年,致力于微纳关键技术、柔性智能制造、柔性光电子啪啪啪视频大全的创新应用。经多年发展,苏大维格成为微纳光电啪啪啪视频大全、新型显示和纳米印刷领域自主创新的典型企业,涉及微纳光学印材、纳米印刷、3D成像啪啪啪视频大全、平板显示(大尺寸电容触控屏,超薄导光板)、高端智能微纳装备(纳米压印、微纳直写光刻、3D光场打印等)的研发与产业化。

据苏大维格2018年年度业绩报告,2018年啪啪免费观看大全av实现营收11.65亿元,营业利润7183.78万元。

 
 
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